真空装置の取り扱い方、SEM

概要 走査型電子顕微鏡を例として、真空装置の取り扱い方と留意点を解説する。
対象／前提 地質科学を学ぶ者、大学の理学部3年次生レベル
キーワード 油回転真空ポンプ,拡散ポンプ,電子銃,熱電子発生,加速電圧、電子レンズ,電子線―物質相互作用,二次電子,背面散乱電子（反射電子）,二次電子線像,反射電子線像
作成者信州大学　理学部 地質科学科 森清 寿郎
協力者
親教材地球化学実験
更新日2008年8月26日
注意事項
本教材は、平成18年度『現代的教育ニーズ取組支援プログラム』｢教育の質保証プロジェクト｣の支援により開発されたものです。
学習の留意点 現在、地質学では走査型電顕やＸ線マイクロアナライザーなど真空電子機器を使用することが非常に多い。実験を安全・効果的におこなうために、それら真空装置の原理と構成を理解しておく必要がある。
教材群
  1. main真空装置の取り扱い方、SEM
  2. file確認テスト(html)
  3. file真空とその測定法（参考）(html)
  4. file走査電顕解説(参考）(html)
  5. file真空ポンプ(pdf)
  6. file真空蒸着装置(pdf)
  7. file走査電顕の原理(pdf)