真空装置の取り扱い方、SEM確認テスト

1.

真空ポンプを止めた際、ただちに行わなければならない操作は何か。
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解答

真空ラインについているベント(通気孔)をあけて空気をいれて、 それまでは真空であった真空ポンプ吸気側を大気圧にし、 油の逆流を生じさせないようにする。

2.

パスカル(Pa)という圧力単位の定義をのべよ。また、1気圧は、何パスカルか。
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解答

1 m2につき1ニュートン(1N)の力が作用するときの圧力を1Paと定義する。

1 atm = 1013 hPa = 1.013 × 105Pa    h(ヘクト)は100倍を意味するSI単位系の接頭語。

3.

油回転真空ポンプの排気音に注意しなければならない理由は何か。
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解答

ポコポコという排気音がいつまでも鳴り止まないときは、真空装置のどこかにもれ(リーク)があることを意味するので、 どこでもれているのかすぐ調べなければならない。